In situ characterization of ALD processes and study of reaction mechanisms for high-k metal oxide formation
In situ characterization of ALD processes and study of reaction mechanisms for high-k metal oxide formation
Tallennettuna:
| Genre | |
|---|---|
| Ulkoasu |
1 verkkoaineisto (52 sivua) Julkaistu myös painettuna |
| Kieli |
englanti |
| Alkuteoksen kieli |
englanti |
| Huomautukset |
Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa. |
| Julkaisija |
Helsinki :
University of Helsinki,
2014.
|
| Opinnäyte | Väitöskirja : Helsingin yliopisto, Kemian laitos, 2014 |
| Luokitus | |
| Aiheet | |
| Lisätiedot | Yoann Tomczak |
| Painettu (nidottu) |
978-952-10-9925-0 |
| Järjestelmävaatimukset |
Internet-yhteys |
| ISBN |
978-952-10-9926-7 PDF |
| Hae kokoteksti | |