Syntymäaika	1985
Toimiala	epäorgaaninen kemia
Tunnisteet	0000000484084001 (isni) http://urn.fi/URN:NBN:fi:au:finaf:000159275 (finaf)
Lähteet	In situ characterization of ALD processes and study of reaction mechanisms for high-k metal oxide formation, 2014