Combining focused ion beam patterning and atomic layer deposition for nanofabrication
Combining focused ion beam patterning and atomic layer deposition for nanofabrication
Tallennettuna:
| Genre | |
|---|---|
| Ulkoasu |
1 verkkoaineisto (63 sivua) : kuvitettu |
| Kieli |
englanti |
| Alkuteoksen kieli |
englanti |
| Huomautukset |
Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa. |
| Julkaisija |
Helsinki :
University of Helsinki,
2018.
|
| Opinnäyte | Väitöskirja : Helsingin yliopisto, 2018 |
| Luokitus | |
| Aiheet | |
| Lisätiedot | Zhongmei Han |
| Painettu |
978-951-51-4378-5 |
| ISBN |
978-951-51-4379-2 PDF |
| Pääsy | Aineisto on vapaasti saatavissa |
| Hae kokoteksti | |