Ion implantation in semiconductors
Finna-arvio
Ion implantation in semiconductors
Tallennettuna:
| Ulkoasu |
473 sivua : kuvitettu |
|---|---|
| Kieli |
englanti |
| Alkuteoksen kieli |
englanti |
| Julkaisija |
Brookfield, Vt. :
Trans Tech Publications,
1988.
|
| Lisätiedot | D. Stievenard, J. C. Bourgoin |
| ISBN |
0-87849-575-4 |
| Hae kokoteksti | |