Atomic layer epitaxy growth of titanium, zirconium and hafnium dioxide thin films
Atomic layer epitaxy growth of titanium, zirconium and hafnium dioxide thin films
Tallennettuna:
| Genre | |
|---|---|
| Ulkoasu |
48, [62] sivua : kuvitettu ; 25 cm |
| Kieli |
englanti |
| Alkuteoksen kieli |
englanti |
| Julkaisija |
Helsinki :
Suomalainen tiedeakatemia,
1994.
|
| Opinnäyte | Väitöskirja : Helsingin yliopisto |
| Sarja | Annales Academiae scientiarum Fennicae, Series A 2, Chemica, ISSN 0066-1961; 257. |
| Luokitus | |
| Lisätiedot | Mikko Ritala |
| ISBN |
951-41-0755-1 nidottu |
| Hae kokoteksti | |