Characterization, surface treatment and nanofabrication by charged particle beams
Characterization, surface treatment and nanofabrication by charged particle beams
Sparad:
Genre | |
---|---|
Fysisk beskrivning |
xi, 60 sivua, 80 sivua useina numerointijaksoina : kuvitettu ; 25 cm |
Språk |
engelska |
Originalverkets språk |
engelska |
Språk i abstract |
eng fin |
Beskrivning |
Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa ja 8 eripainosta. |
Förlag |
Helsinki :
Aalto University,
2021.
|
Lärdomsprov | Väitöskirja : Aalto-yliopisto, mikro- ja nanotekniikan laitos, 2021 |
Serie | Aalto University publication series, Doctoral dissertations, ISSN 1799-4934; 2021, 125. |
Klassifikation | |
Ämnen | |
Tillverkare | Helsinki : Unigrafia Oy |
Mer information | Antti Peltonen |
Verkkoaineisto (yhteenveto-osa) |
978-952-64-0511-7 |
ISBN |
978-952-64-0510-0 pehmeäkantinen |
Hämta fulltext |