Characterization, surface treatment and nanofabrication by charged particle beams
Characterization, surface treatment and nanofabrication by charged particle beams
Tallennettuna:
| Genre | |
|---|---|
| Ulkoasu |
xi, 60 sivua, 80 sivua useina numerointijaksoina : kuvitettu ; 25 cm |
| Kieli |
englanti |
| Alkuteoksen kieli |
englanti |
| Tiivistelmän kieli |
eng fin |
| Huomautukset |
Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa ja 8 eripainosta. |
| Julkaisija |
Helsinki :
Aalto University,
2021.
|
| Opinnäyte | Väitöskirja : Aalto-yliopisto, mikro- ja nanotekniikan laitos, 2021 |
| Sarja | Aalto University publication series, Doctoral dissertations, ISSN 1799-4934; 2021, 125. |
| Luokitus | |
| Aiheet | |
| Valmistaja | Helsinki : Unigrafia Oy |
| Lisätiedot | Antti Peltonen |
| Verkkoaineisto (yhteenveto-osa) |
978-952-64-0511-7 |
| ISBN |
978-952-64-0510-0 pehmeäkantinen |
| Hae kokoteksti | |