Characterization, surface treatment and nanofabrication by charged particle beams
Characterization, surface treatment and nanofabrication by charged particle beams
Saved in:
| Genre | |
|---|---|
| Physical Description |
xi, 60 sivua, 80 sivua useina numerointijaksoina : kuvitettu ; 25 cm |
| Language |
English |
| Language of Original Work |
English |
| Language of Abstract |
eng fin |
| Item Description |
Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa ja 8 eripainosta. |
| Published |
Helsinki :
Aalto University,
2021.
|
| Dissertation Note | Väitöskirja : Aalto-yliopisto, mikro- ja nanotekniikan laitos, 2021 |
| Series | Aalto University publication series, Doctoral dissertations, ISSN 1799-4934; 2021, 125. |
| Classification | |
| Subjects | |
| Manufacturer | Helsinki : Unigrafia Oy |
| Additional Information | Antti Peltonen |
| Verkkoaineisto (yhteenveto-osa) |
978-952-64-0511-7 |
| ISBN |
978-952-64-0510-0 pehmeäkantinen |
| Get full text | |