Characterization, surface treatment and nanofabrication by charged particle beams
Characterization, surface treatment and nanofabrication by charged particle beams
Saved in:
Genre | |
---|---|
Physical Description |
xi, 60 sivua, 80 sivua useina numerointijaksoina : kuvitettu ; 25 cm |
Language |
English |
Language of Abstract |
eng fin |
Item Description |
Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa ja 8 eripainosta. |
Published |
Helsinki :
Aalto University,
2021.
|
Dissertation Note | Väitöskirja : Aalto-yliopisto, mikro- ja nanotekniikan laitos, 2021 |
Series | Aalto University publication series, Doctoral dissertations, ISSN 1799-4934; 2021, 125. |
Classification | |
Subjects | |
Manufacturer | Helsinki : Unigrafia Oy |
Additional Information | Antti Peltonen |
Verkkoaineisto (yhteenveto-osa) |
978-952-64-0511-7 |
ISBN |
978-952-64-0510-0 pehmeäkantinen |
Get full text |