Characterization, surface treatment and nanofabrication by charged particle beams
Characterization, surface treatment and nanofabrication by charged particle beams
Tallennettuna:
Genre | |
---|---|
Ulkoasu |
xi, 60 sivua, 80 sivua useina numerointijaksoina : kuvitettu ; 25 cm |
Kieli |
englanti |
Alkuteoksen kieli |
englanti |
Tiivistelmän kieli |
eng fin |
Huomautukset |
Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa ja 8 eripainosta. |
Julkaisija |
Helsinki :
Aalto University,
2021.
|
Opinnäyte | Väitöskirja : Aalto-yliopisto, mikro- ja nanotekniikan laitos, 2021 |
Sarja | Aalto University publication series, Doctoral dissertations, ISSN 1799-4934; 2021, 125. |
Luokitus | |
Aiheet | |
Valmistaja | Helsinki : Unigrafia Oy |
Lisätiedot | Antti Peltonen |
Verkkoaineisto (yhteenveto-osa) |
978-952-64-0511-7 |
ISBN |
978-952-64-0510-0 pehmeäkantinen |
Hae kokoteksti |