Amorphous molybdenum-based thin films for surface micromachining
Amorphous molybdenum-based thin films for surface micromachining
Saved in:
| Genre | |
|---|---|
| Physical Description |
1 verkkoaineisto (201 sivua) Julkaistu myös painettuna |
| Language |
English |
| Language of Abstract |
Finnish |
| Published |
Helsinki :
Aalto University,
[2017]
|
| Dissertation Note | Väitöskirja : Aalto-yliopiston sähkötekniikan korkeakoulu, elektroniikan ja nanotekniikan laitos, 2017 |
| Series | Aalto University publication series, Doctoral dissertations, ISSN 1799-4942; 2017, 23. VTT Science, ISSN 2242-1203; 147. |
| Classification | |
| Subjects | |
| Additional Information | Mari Laamanen |
| Painettu (VTT) |
978-951-38-8512-0 |
| Painettu (Aalto) |
978-952-60-7289-0 |
| ISBN |
978-952-60-7288-3 PDF Aalto 978-951-38-8509-0 PDF VTT |
| Access | Aineisto on käytettävissä vapaakappaletyöasemilla |
| Terms of use | Aineisto on käytettävissä tutkimus- ja muihin tarkoituksiin;
Laki kulttuuriaineistojen tallettamisesta ja säilyttämisestä
|
| Get full text | |