Amorphous molybdenum-based thin films for surface micromachining
Amorphous molybdenum-based thin films for surface micromachining
Tallennettuna:
Genre | |
---|---|
Ulkoasu |
1 verkkoaineisto (201 sivua) Julkaistu myös painettuna |
Kieli |
englanti |
Alkuteoksen kieli |
englanti |
Tiivistelmän kieli |
suomi |
Julkaisija |
Helsinki :
Aalto University,
[2017]
|
Opinnäyte | Väitöskirja : Aalto-yliopiston sähkötekniikan korkeakoulu, elektroniikan ja nanotekniikan laitos, 2017 |
Sarja | Aalto University publication series, Doctoral dissertations, ISSN 1799-4942; 2017, 23. VTT Science, ISSN 2242-1203; 147. |
Luokitus | |
Aiheet | |
Lisätiedot | Mari Laamanen |
Painettu (VTT) |
978-951-38-8512-0 |
Painettu (Aalto) |
978-952-60-7289-0 |
ISBN |
978-952-60-7288-3 PDF Aalto 978-951-38-8509-0 PDF VTT |
Pääsy | Aineisto on käytettävissä vapaakappaletyöasemilla |
Käyttöehdot | Aineisto on käytettävissä tutkimus- ja muihin tarkoituksiin;
Laki kulttuuriaineistojen tallettamisesta ja säilyttämisestä
|
Hae kokoteksti |