Micromechanical characterization of ALD thin films
Micromechanical characterization of ALD thin films
Tallennettuna:
| Genre | |
|---|---|
| Ulkoasu |
80, [39] sivua : kuvitettu ; 25 cm Yhteenveto-osa julkaistu myös verkkoaineistona |
| Kieli |
englanti |
| Alkuteoksen kieli |
englanti |
| Huomautukset |
Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa ja 5 eripainosta. Nimiösivulla myös: Aalto University School of Chemical Technology, Department of Materials Science and Engineering, Microfabrication Group. |
| Julkaisija |
Helsinki :
Aalto University,
2015
|
| Opinnäyte | Väitöskirja : Aalto-yliopiston kemian tekniikan korkeakoulu, 2015 |
| Sarja | Aalto University publication series, Doctoral dissertations, ISSN 1799-4942; 2015, 119. |
| Luokitus | |
| Aiheet | |
| Valmistaja | (Helsinki : Unigrafia) |
| Lisätiedot | Maria Berdova |
| Verkkoaineisto (yhteenveto-osa, PDF) |
978-952-60-6345-4 |
| ISBN |
978-952-60-6344-7 nidottu |
| Hae kokoteksti | |