On preparation of photoresist layers by spincoating method
Finna-arvio
On preparation of photoresist layers by spincoating method
Tallennettuna:
Ulkoasu |
[2], 7 sivua : kuvitettu ; 24 cm |
---|---|
Kieli |
englanti |
Alkuteoksen kieli |
englanti |
Huomautukset |
Sarjalla myös engl. nimeke. |
Julkaisija |
Joensuu :
Joensuun yliopisto,
1988.
|
Sarja | Matemaattis-luonnontieteellisen tiedekunnan raporttisarja / Joensuun yliopisto, ISSN 0781-6278; n:o 25. |
Luokitus | |
Lisätiedot | Eero Vartiainen, Tuula Keinonen and Olli Salminen |
ISBN |
951-696-776-0 nidottu |
Hae kokoteksti |