Ion implantation in semiconductors
Finna-recension
Ion implantation in semiconductors
Sparad:
| Fysisk beskrivning |
473 sivua : kuvitettu |
|---|---|
| Språk |
engelska |
| Originalverkets språk |
engelska |
| Förlag |
Brookfield, Vt. :
Trans Tech Publications,
1988.
|
| Mer information | D. Stievenard, J. C. Bourgoin |
| ISBN |
0-87849-575-4 |
| Hämta fulltext | |