Characterization, surface treatment and nanofabrication by charged particle beams
Characterization, surface treatment and nanofabrication by charged particle beams
Sparad:
| Genre | |
|---|---|
| Fysisk beskrivning |
1 verkkoaineisto (xi, 60 sivua) : kuvitettu |
| Språk |
engelska |
| Originalverkets språk |
engelska |
| Språk i abstract |
eng fin |
| Beskrivning |
Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa. |
| Förlag |
Helsinki :
Aalto University,
2021.
|
| Lärdomsprov | Väitöskirja : Aalto-yliopisto, mikro- ja nanotekniikan laitos, 2021 |
| Serie | Aalto University publication series, Doctoral dissertations, ISSN 1799-4942; 2021, 125. |
| Klassifikation | |
| Ämnen | |
| Mer information | Antti Peltonen |
| Painettu |
978-952-64-0510-0 |
| ISBN |
978-952-64-0511-7 PDF |
| Tillgång | Aineisto on vapaasti saatavissa |
| Hämta fulltext | |