Characterization, surface treatment and nanofabrication by charged particle beams
Characterization, surface treatment and nanofabrication by charged particle beams
Tallennettuna:
Genre | |
---|---|
Ulkoasu |
1 verkkoaineisto (xi, 60 sivua) : kuvitettu |
Kieli |
englanti |
Tiivistelmän kieli |
eng fin |
Huomautukset |
Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa. |
Julkaisija |
Helsinki :
Aalto University,
2021.
|
Opinnäyte | Väitöskirja : Aalto-yliopisto, mikro- ja nanotekniikan laitos, 2021 |
Sarja | Aalto University publication series, Doctoral dissertations, ISSN 1799-4942; 2021, 125. |
Luokitus | |
Aiheet | |
Lisätiedot | Antti Peltonen |
Painettu |
978-952-64-0510-0 |
ISBN |
978-952-64-0511-7 PDF |
Pääsy | Aineisto on vapaasti saatavissa |
Hae kokoteksti |