TY  - GEN
TY  - GEN
T1  - Mikropiirien tuotanto muutosvaiheessa
JF  - Prosessori : modernin elektroniikan ja automaation erikoislehti
IS  - 11
SP  - 20
OP  - 23
A1  - Joronen, Jouni
LA  - fin
YR  - 1989
UL  - https://kansalliskirjasto.finna.fi/kansalliskirjastofikka/Record/arto.012701787
AB  - New methods in IC production.
KW  - mikropiirit
KW  - mikroelektroniikka
KW  - puolijohdetekniikka
KW  - tuotantotekniikka
KW  - mikrokretsar
KW  - mikroelektronik
KW  - halvledarteknik
KW  - produktionsteknik
KW  - integroidut piirit
KW  - elektroniikkateollisuus
ER  -