TY - GEN TY - GEN T1 - Microelectronics programme 1987-1991 A1 - Teknologian kehittämiskeskus. A2 - Franssila, Sami LA - eng PP - Helsinki PB - TEKES YR - 1991 UL - https://kansalliskirjasto.finna.fi/Record/vaari.886096 SN - 951-47-1911-5 pehmeäkantinen ER -