Amorphous diffusion barriers for electronic device applications
Amorphous diffusion barriers for electronic device applications
Tallennettuna:
| Genre | |
|---|---|
| Ulkoasu |
41, [121] s. : kuvitettu ; 25 cm |
| Kieli |
englanti |
| Alkuteoksen kieli |
englanti |
| Huomautukset |
Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa ja 8 eripainosta. - Nimiösivulla myös: California Institute of Technology, USA |
| Julkaisija |
Espoo :
[P. Pokela],
1991.
|
| Opinnäyte | Väitöskirja : Teknillinen korkeakoulu, Espoo |
| Luokitus | |
| Lisätiedot | Pekka Pokela |