TY  - GEN
TY  - GEN
T1  - Piin ja galliumarsenidin sputterointituottojen määrittäminen
A1  - Virtanen, Suvi
LA  - fin
PP  - Helsinki
PB  - S. Virtanen
YR  - 2008
UL  - https://kansalliskirjasto.finna.fi/Record/helka.9922096843506253
KW  - kisel.
KW  - pii.
KW  - galliumarsenidi
KW  - sputterointi
KW  - sputterointituotto
ER  -