TY  - GEN
TY  - GEN
T1  - Characterization, surface treatment and nanofabrication by charged particle beams
T2  - Aalto University publication series
A1  - Peltonen, Antti, 1976- kirjoittaja
LA  - eng
PP  - Helsinki
PB  - Aalto University
YR  - 2021
UL  - https://kansalliskirjasto.finna.fi/Record/fikka.5587623
AB  - Karakterisointi, pintakäsittely ja nanovalmistus varattuja hiukkassuihkuja käyttäen.
NO  - Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa ja 8 eripainosta.
SN  - 978-952-64-0510-0 pehmeäkantinen
KW  - mikrovalmistus
KW  - nanotekniikka
KW  - atomikerroskasvatus
KW  - fokusoidut ionisuihkut
KW  - etsaus (mikrovalmistus)
KW  - pintakäsittely
KW  - elektronitomografia
ER  -