TY  - GEN
TY  - GEN
T1  - Amorphous molybdenum-based thin films for surface micromachining
T2  - Aalto University publication series
T2  - VTT Science
A1  - Laamanen, Mari, 1978- kirjoittaja
LA  - eng
PP  - Helsinki
PB  - Aalto University
YR  - 2017
UL  - https://kansalliskirjasto.finna.fi/Record/fikka.4272250
AB  - Amorfiset molybdeenipohjaiset ohutkalvot pintamikromekaniikassa.
SN  - 978-952-60-7288-3 PDF Aalto
SN  - 978-951-38-8509-0 PDF VTT
KW  - ohutkalvot
KW  - valmistustekniikka
KW  - materiaalit
KW  - elektroniikkakomponentit
KW  - mikroelektroniikka
ER  -