TY  - GEN
TY  - GEN
T1  - In situ characterization of ALD processes and study of reaction mechanisms for high-k metal oxide formation
A1  - Tomczak, Yoann, 1985- kirjoittaja
LA  - eng
PP  - Helsinki
PB  - University of Helsinki
YR  - 2014
UL  - https://kansalliskirjasto.finna.fi/Record/fikka.4203096
NO  - Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa.
SN  - 978-952-10-9926-7 PDF
KW  - ohutkalvot
KW  - reaktiomekanismit
KW  - atomikerroskasvatus
KW  - metallit
KW  - oksidit
ER  -