TY  - GEN
TY  - GEN
T1  - Puolijohdekomponenttien valmistusprosessin simulointi
T2  - Tiedotteita / Valtion teknillinen tutkimuskeskus
A1  - Grahn, Kaj, 1952-
A2  - Halonen, Kari
LA  - fin
PP  - Espoo ; Hki
PB  - Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Puolijohdelaboratorio : Valtion painatuskeskus, [jakaja]
YR  - 1985
UL  - https://kansalliskirjasto.finna.fi/Record/fikka.3314030
NO  - Sarjalla myös ruots. ja engl. nimeke.
SN  - 951-38-1848-9 nidottu
ER  -